韩国原装进口紫外线灯SPG4000

半导体领域使用光刻机有5类：G线光刻机，使用高压汞灯作为光源，紫外线波长为436nm，产品分辨率500nm以上；I线光刻机，使用高压汞灯作为光源，紫外线波长为365nm，产品分辨率28nm以上；氟化氪(KrF)光刻机，使用氟化氪准分子激光(DUV)作为光源，紫外线波长为248nm，产品分辨率180nm；氟化氩光刻机，使用氟化氩准分子激光(DUV)作为光源，紫外线波长193nm；EUV光刻机，使用13.5nm极紫外线，产品分辨率，分辨率可达7nm；敝司代理光刻机使用的I线365nm高压汞灯紫外线。i线步进式光刻机NSR-2005i9用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2001AL。韩国原装进口紫外线灯SPG4000

实验室用小型UV紫外线照射设备

设备型号：QRU-2161-D

用途：光阻材料固化，粘着剂固化，封装胶固化，油墨胶固化，框胶材料固化。

照射装置构成：由灯箱和电源构成。

光源：汞灯 。

功率：300W，500W，800W.

特长：操作简单，小型化，轻量化，可手持，节能。

製品仕様：使用UV汞灯作为光源，光源主要波长为365nm，照度为30mW/cm2.

反射镜：黄金反射镜

冷却：风冷

照射面积：120×130mm

灯箱尺寸：180(W) × 250(D) × 212(H) mm

电源尺寸：300(W) × 370(D) × 395(H) mm NLi-2510A紫外线灯进货途径紫外线之光，半导体未来。

产品化无NOｘ产生的UV Lamp『智能准分子灯』作为臭氧发生动力（灯+电源）模块.臭氧存在与大气中，起到净化大气作用。大气中的氧气和太阳光中的紫外线反应或者雷的放电现象，自然生成。阳光充裕的海岸或森林，存在程度、制作出清爽的空气。臭氧的氧原子[O]3个结合后产物，化学式是[O3]。臭氧的氧原子比氧气原子多出1个的[O3]状态、余下的氧原子[O]给其它物质，引发返回稳定状态的氧分子现象。利用自然界发生的此性质，积极制作臭氧，进行脱臭，除菌，杀菌。

紫外线高压汞灯是气体放电灯的一种，利用两极弧光放电使汞蒸发，这对UV固化过程很有价值，因为许多光引发剂体系在此区域都有强烈的吸收，又叫UV固化灯。1 、光谱： 紫外线高压汞灯的波长，主要集中在 365mm 左右。2 、紫外光强度：主要指单位长度上的紫外线功率权。单位是 W/c㎡ ，单位长度功率越低，强度就差，反之则高。一般 UV 油墨涂料等要求 80W/CM 以上强度。3 、全长及发光体长：全长是指灯管两端的总长，发光长是指 UV 灯管两极之间的距离，又称极距。4 、光固化：光固化是指 UV 油墨或 UV 涂料等，在紫外线的有效照射下发生的一定的光化学反应，从而使固化物成液态，固化成膜，这个过程称为光固化。i线步进式光刻机NSR2205i14,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2.5KW，型号：NLi-2510AHL2。

曝光系统重要部件之一是紫外光源。常见光源分为:可见光：g线：436nm紫外光（UV），i线：365nm深紫外光（DUV）,KrF 准分子激光：248 nm, ArF 准分子激光：193 nm极紫外光（EUV），10 ~ 15 nm对光源系统的要求a.有适当的波长。波长越短，可曝光的特征尺寸就越小；[波长越短，就表示光刻的刀锋越锋利，刻蚀对于精度控制要求越高。]b.有足够的能量。能量越大，曝光时间就越短；c.曝光能量必须均匀地分布在曝光区。[一般采用光的均匀度或者叫不均匀度、光的平行度等概念来衡量光是否均匀分布]常用的紫外光光源是高压弧光灯（高压汞灯），高压汞灯有许多尖锐的光谱线，经过滤光后使用其中的g 线（436 nm）或i 线（365 nm）。对于波长更短的深紫外光光源，可以使用准分子激光。例如KrF 准分子激光（248 nm）、ArF 准分子激光（193 nm）和F2准分子激光（157 nm）等。曝光系统的功能主要有：平滑衍射效应、实现均匀照明、滤光和冷光处理、实现强光照明和光强调节等。i线步进式光刻机NSR-SF150用于半导体器件制造。使用ORC制作所，对应型号：NLi-7500AL2。日本进口紫外线灯ONL-12001

i线步进式光刻机NSR-SF140,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯，功率7.5KW，型号：NLi-7500AL2。韩国原装进口紫外线灯SPG4000

高压汞灯在工作时，灯球体内的汞蒸气压达100个保准大气压以上。汞蒸气压愈高，灯的亮度也越高，紫外线强度也越大，而且汞原子谱线宽度变大，分子连续谱与带电粒子复合光谱也更强，特别是595nm以上的红光辐射随灯内工作压强的升高而增强，从而使灯的显色性提高。为了克服由于电极处于极高温度造成钨材料蒸发并沉积在球壁上造成紫外线穿透率下降，光衰加速，从工艺设计上对灯内充入微量卤素，达到有效清洁泡壳的作用，进而可延长汞灯使用寿命。韩国原装进口紫外线灯SPG4000